Keithley Instruments – Messlösungen von ATV Systems

Als autorisierter Distributor von Keithley Instruments (eine Marke von Tektronix) bietet die ATV Systems GmbH das vollständige Keithley-Produktportfolio für die Halbleitermesstechnik – von der präzisen Kleinstrom- und Kleinsignalmessung bis zur Hochleistungs-Charakterisierung mit bis zu 3 kV und 100 A. Kombiniert mit den Waferprobesystemen der MPI Corporation und unserer hauseigenen Testsoftware Measmatic™ entstehen schlüsselfertige Messsysteme, die exakt auf Ihre Anforderungen zugeschnitten sind.

Warum Keithley Instruments von ATV Systems?

Keithley Source Measure Units bilden das messtechnische Rückgrat der meisten ATV-Testsysteme. Im Gegensatz zum reinen Instrumentenkauf erhalten Sie bei ATV eine vollständig integrierte Lösung: Wir wählen die richtige Keithley-Instrumentierung für Ihre Applikation, integrieren sie eine Testlösung und steuern alles über unsere Testsoftware Measmatic™. Das reduziert Ihre Zeit bis zur ersten Messung drastisch und gewährleistet zuverlässige, wiederholbare Ergebnisse vom ersten Tag an.

Ein besonderer Vorteil: Measmatic™ nutzt Keithleys TSP®-Technologie (Test Script Processor) und führt LUA-Skripte direkt auf dem eingebetteten Prozessor der Keithley-Instrumente aus. Dies ermöglicht maximalen Messdurchsatz mit exaktem Timing – ein entscheidender Vorteil für gepulste Messungen und Produktionstest.

Unsere Applikationsbereiche

Device Characterization – Präzisionsmessungen im Kleinstrom- und Kleinsignalbereich

Für die Halbleiter-Bauelementcharakterisierung bieten wir Messlösungen, die kleinste Ströme und Spannungen präzise erfassen. Für umfassende parametrische Analysen setzen wir die Keithley 4200A-SCS ein, Keithleys Flaggschiff-Parameteranalysator mit bis zu 8 SMU-Modulen, integriertem C-V und Pulsed-IV – integriert in ein MPI-Probesystem mit ShielDEnvironment™ erreichen Sie reproduzierbare Messungen im Femtoampere-Bereich.

Typische Anwendungen: IV/CV-Kennlinien, Transistor- und Diodencharakterisierung, Leckstrommessungen (Gate, Drain, Junction), Durchbruchspannungsmessungen, Schwellenspannungsbestimmung (Vth), Prozessüberwachung (PCM), Wafer Acceptance Testing (WAT), MOSFET-Parametrik, Oxidqualitätsprüfung

Typische Keithley-Instrumente: 2636B (Low-Current SMU, 100 fA), 2612B (General-Purpose SMU), 2606B (4-Kanal-SMU), 4200A-SCS (Parameter Analyzer), 3706A (Switching Matrix)

High-Power Halbleiterprüfung – Hochspannung bis 3 kV, Hochstrom bis 100 A

Die Charakterisierung von Leistungshalbleitern wie SiC-MOSFETs und GaN-HEMTs stellt besondere Anforderungen an Spannung, Strom und Sicherheit. Unsere High-Power-Messlösungen basieren auf Keithley-Hochleistungs-SMUs – dem 2657A für Spannungen bis 3.000 V und dem 2651A für Ströme bis 100 A DC. In Kombination mit unserer ATV Power Test Platform (PTP) bieten wir eine schlüsselfertige Lösung, die IV- und CV-Messungen in einem einzigen automatisierten Durchlauf vereint – ohne Umverkabeln, ohne mehrfache Testdurchläufe.

Typische Anwendungen: RDS(on)-Messungen, Durchbruchspannungstests (BV), Drain-Leckstrommessungen, Transfer- und Ausgangskennlinien (DC und gepulst), Gate-Charge (Qg), dynamisches RDS(on) für GaN-Trapping-Analyse, Ciss/Coss/Crss-Kapazitätsmessungen bei hoher DC-Vorspannung, Schwellenspannungsmessung nach JEDEC JESD 28A/60A

Typische Keithley-Instrumente: 2657A (High-Voltage SMU, 3 kV), 2651A (High-Current SMU, 20 A DC / 100 A gepulst), 2612B (Gate-SMU), PCT-CVU (Kapazitätsmesseinheit)

Switching und Multi-Channel-Systeme

Für komplexe Testaufbauten mit vielen Messpunkten integrieren wir Keithley-Switching-Systeme, die automatisiertes Umschalten zwischen verschiedenen DUT-Pins und Messkanälen ermöglichen. Die TSP-Link®-Technologie verbindet mehrere Keithley-SMUs zu einem synchronisierten Multi-Kanal-System – ohne externen Mainframe, mit nahtloser Integration in Measmatic™.

Typische Keithley-Instrumente: 3706A (System Switch/Multimeter), 707B (Switching Matrix), TSP-Link-Verbindungskabel für Multi-SMU-Systeme

Unser Leistungsspektrum

Beratung und Systemkonfiguration

Unsere Applikationsingenieure analysieren Ihre Messanforderungen und empfehlen die optimale Keithley-Instrumentierung – von der Einzelkanal-SMU für einfache IV-Messungen bis zum vollständig konfigurierten Multi-SMU-System mit automatisiertem Switching und C-V-Messung.

Systemintegration und Validierung

Wir integrieren Keithley-Instrumente in MPI-Waferprobesysteme und validieren die Gesamtperformance gemäß vereinbarter Abnahmekriterien. Jedes System wird vor Auslieferung umfassend getestet – inklusive Korrelationsmessungen und Dokumentation.

Measmatic™ Software-Integration

Unsere Testsoftware Measmatic™ bietet native Treiber für alle gängigen Keithley-Instrumente. Von interaktiven Engineering-Messungen bis zum vollautomatisierten Produktionstest nutzen Sie eine einzige Softwareplattform – ohne Softwaremigration beim Übergang vom Labor zur Produktion. Für das ATV Power Test Platform liefern wir vorkonfigurierte Testprojekte mit allen Standard-Power-Device-Tests.

Installation, Schulung und Support

Wir installieren das System an Ihrem Standort, schulen Ihre Anwender und bieten als lokaler Partner in Dresden schnellen technischen Support. Bei Kalibrierungsfragen unterstützen wir Sie mit Keithley-Instrumenten, die weltweit durch das Tektronix-Servicenetzwerk kalibrierbar sind.

ATV Power Test Platform – Unser Flaggschiff mit Keithley-Instrumentierung

Das ATV Power Test Platform (PTP) ist das beste Beispiel für die tiefe Integration von Keithley-Messtechnik in ein schlüsselfertiges Testsystem. Es vereint IV-, CV- und Hochstrommessungen in einem einzigen automatisierten Durchlauf auf einem MPI-Waferprobesystem – gesteuert von Measmatic™. Das PTP basiert vollständig auf Keithley-SMUs (2657A, 2651A, 2612B) und dem PCT-CVU, integriert in einen proprietären ATV HVC-Switch mit Low-Leakage-Design (< 50 fA/V). Dies eliminiert das manuelle Umverkabeln zwischen IV und CV und erzeilt dadurch einen immense Vergrößerung des Anlagendurchsatzes.