ProbeSense

MPI Temperature Calibration Sensor

Überprüfen Sie die Temperaturspezifikation jedes ERS-Thermochucks der Größe 200 oder 300 mm
Ein Sensor - keine Genauigkeitsabweichung
Kalibrierung unter den gleichen Bedingungen wie bei der Messung
Kalibriert nach ISO17025:2017
ITS90-Rückverfolgbarkeit
Jährlicher Wafer-Kalibrierungsservice

Temperaturbereich: -40 bis 200 °C
Genauigkeit des Sensors: < 0.03 K
Sensor-Typ: 4-Wire PT100
Anschlussmöglichkeiten: USB

ProbeSense, ein Produkt von ERS und MPI, ist ein einzigartiges Temperaturkalibrierungswerkzeug, das aus nur einem Sensor besteht. Er wird in der Nadelkartenhalterung des Probers montiert und an ein Kalibrierinstrument angeschlossen, wodurch eine Genauigkeit von unter 30mK erreicht werden kann. Die MPI SENTIO Software des Probers unterstützt einen vollautomatischen Kalibrierungsprozess.

SENTIO-Integration

Mit SENTIO können bis zu 10 Temperaturen an einer unbegrenzten Anzahl von Prüfpunkten auf dem Thermochuck definiert und getestet werden. Das ermöglicht es dem Prober Kalibrierungen ohne notwendige Benutzersteuerung auszuführen.

Nachvollziehbare Kalibrierung

ProbeSense ist gemäß ISO17025:2017 kalibriert und wir bieten regelmäßige Rekalibrierungen in einem lokalen, zertifizierten Labor an, um die ITS90-Rückverfolgbarkeit zu gewährleisten.

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