Die Lösung besteht aus einem optimierten, individuell angepassten Waferprober mit elektrischem Testsystem und einer eigens dafür entwickelten Steuersoftware.
Zur Prüfung werden die auf dem Wafer aufgebrachten Drucksensoren vom Prober über die integrierte Nadelkarte kontaktiert und durch das angeschlossene Testsystem mit der nötigen Spannung versorgt. So kann jeder einzelne Sensor auf seine korrekte Funktion geprüft und maximale Qualität garantiert werden. Diese Anwendung ist besonders im Bereich Automotive, mit seinen hohen Anforderungen an Genauigkeit, von Relevanz. Eine Datenübertragung und Steuerung der Anlage über eine SECS/GEM-Schnittstelle ist vorgesehen.

Somit ist unser Kunde während des gesamten Produktionsprozesses in der Lage mit hoher Zuverlässigkeit und hohem Durchsatz die elektronischen Eigenschaften seiner Drucksensoren auf dem Wafer zu überwachen und die Qualität der einzelnen Komponenten zu verifizieren.