ATV projektierte hierfür einen aus Messgeräten und Wafer Prober aufgebauten Vollautomaten. Dieser ist exakt auf die spezifischen Anforderungen des Kunden ausgerichtet.
Das Hauptaugenmerk lag auf einer vollautomatischen, wiederholgenauen und schnellen Defektmessung und -auswertung der Bauteile. Ein Testsystem mit modularem Aufbau - bestehend aus einem TS2500-RF von MPI, Messgeräten von Keithley und einer Nadelkarte von Celadon - brachte letztendlich die gewünschte Lösung. Die Kombination der ausgewählten Messkomponenten ist in der Lage sowohl den Prober zum Laden, Ausrichten, Kontaktieren und Entladen des Wafers zu steuern als auch die Messung der einzelnen Bauteile vorzunehmen.
Des Weiteren legte der Kunde Wert auf eine unkomplizierte Integration, Handhabung und Speicherung der Messdaten innerhalb des Fertigungsablaufs. Dies wurde über eine individuell konfigurierte Measmatic Softwareapplikation realisiert. Zusätzlich ermöglicht eine SECS/GEM-Schnittstelle aktuelle Statusabfragen während des ganzen Prozessablaufs und sorgt für eine zuverlässige Datenübertragung.